制造商 |
Taylor hobson(英國(guó)) |
型號(hào) |
Talyrond 385 |
測(cè)量范圍 |
直徑范圍450mm以?xún)?nèi) |
大允許誤差MPE/測(cè)量不確定度U |
主軸MPE:±0.02 μm |
應(yīng)用 |
圓度和圓柱形幾何形狀的高精度測(cè)量 |
裝置特點(diǎn) |
精度高,穩(wěn)定性好,能實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)調(diào)心調(diào)平 |
Talyrond 385/365 是全自動(dòng)化的圓度/圓柱度的精密測(cè)量?jī)x,具有亞微米級(jí)的測(cè)量精度和可靠性。該系統(tǒng)有6套不同的裝置以供用戶(hù)選擇,幾乎適用于各種尺寸及自動(dòng)化的實(shí)際測(cè)量。先進(jìn)電子技術(shù)的采用使得所有儀器軸得到精密而快速的自動(dòng)化控制,并且由于針對(duì)測(cè)量速度與移動(dòng)速度的綜合考慮致使此儀器可進(jìn)行高難度測(cè)量。泰勒霍普森的橫臂方位裝置能使觸針以各種不同的方式接觸工件。從而使Talyrond 385成為實(shí)用的多功能工業(yè)圓度儀。Talyrond 385與365基本相同;Talyrond 395適用于測(cè)量精度達(dá)到納米級(jí)的工件,它的主軸采用*精密氣浮軸承,精度達(dá)到±0.01μm,測(cè)頭分辨率達(dá)到1.2nm。Talyrond 440/450為重載圓柱度儀。
Talyrond 圓度儀/圓柱度儀技術(shù)特點(diǎn):
? 全自動(dòng)控制的機(jī)械式橫臂定位/導(dǎo)向
? 自動(dòng)標(biāo)定傳感器
? 具有跟蹤方式的自動(dòng)調(diào)心與調(diào)平
? 高精密氣體軸承主軸精度達(dá)+/- 0.02um
? 儀器傳感器分辨率達(dá)1.2nm
? 300mm,500mm 和 900mm 的立柱
主要特性:
自動(dòng)校準(zhǔn):可以在少于10秒的時(shí)間里完成對(duì)Talymin 5測(cè)頭的校準(zhǔn);
自動(dòng)調(diào)心和調(diào)平:在調(diào)心的過(guò)程中,主軸連續(xù)轉(zhuǎn)動(dòng)。這中“動(dòng)態(tài)平衡”是一種很好的計(jì)量方法,并且可以加快調(diào)心過(guò)程;默認(rèn)的調(diào)節(jié)后偏心量小于0.8μm,可以保證不同的操作者的一致性和重復(fù)性;
自動(dòng)跟從模式:當(dāng)測(cè)量時(shí)的誤差值超出測(cè)頭的測(cè)量量程時(shí),Talyrond 365的橫臂和立柱能夠自動(dòng)地根據(jù)被測(cè)工件的偏心量和大致輪廓進(jìn)行移動(dòng),這樣就不必再進(jìn)行手動(dòng)調(diào)心,并且減少了昂貴的工件夾具的使用;
橫臂軸和立柱軸:Talyrond 365采用了精密玻璃光柵尺和*級(jí)的電氣定位控制系統(tǒng),在橫臂軸和立柱軸兩個(gè)方向都可以進(jìn)行高精密直線(xiàn)度測(cè)量。采樣點(diǎn)數(shù)可以達(dá)到200000,分辨率可以達(dá)到0.25μm;
Talymin 5測(cè)頭:量程大值可以達(dá)到+/-1mm,小分辨率為0.0012μm,限位保護(hù),超微力控制結(jié)構(gòu);
測(cè)頭定位結(jié)構(gòu):無(wú)論測(cè)頭的方向如何,測(cè)頭端部球的中心都是恒定不變的;3D柱體顯示;
高精密氣浮主軸:徑向跳到誤差小于0.02μm、錐度值小于0.003μm/mm、利用玻璃編碼器進(jìn)行采樣,點(diǎn)數(shù)可以達(dá)到18000點(diǎn);
Talyrond 365的測(cè)量部件都是由Ultra軟件控制的,它是一款具有Windows操作界面的軟件,分析功能有圓度、圓柱度、立柱方向的直線(xiàn)度、橫臂方向的直線(xiàn)度、平行度、平面度(單平面或多平面)、垂直度、同心度和偏心度、同軸度、諧波分析、公差計(jì)算、柱體顯示、非全圓的圓度、非全圓的平面度;
分析功能 | |
標(biāo)準(zhǔn)軟件 |
圓度圓柱度同心度偏心量垂直方向的直線(xiàn)度水平方向的直線(xiàn)度垂直度同軸度全跳到圓跳動(dòng)非全圓的圓度非全圓的平面度 諧波分析傾斜度平面度平行度柱體顯示對(duì)平面的平面度DFTPDFTC徑向直線(xiàn)度 |
可選軟件功能 |
柱體3D顯示換向器分析速度分析 RTA分析活塞測(cè)量光盤(pán)厚度測(cè)量壁厚測(cè)量槽分析 |
濾波器 |
相位糾偏2CR和高斯濾波器,濾波頻率可選擇范圍為1-1500UPR |
測(cè)量范圍 | 立柱300mm | 立柱500mm | 立柱900mm |
可測(cè)工件的大直徑 |
φ400mm(可以擴(kuò)展到500mm) |
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可測(cè)工件的大高度 | 300mm | 500mm | 900mm |
可測(cè)工件孔的大深度 | 160mm | ||
可以測(cè)量的大直徑 | φ350(可擴(kuò)展到450mm) | ||
工件的大重量 |
自動(dòng)調(diào)心調(diào)平:75kg;手動(dòng)調(diào)心調(diào)平:20kg |
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工作臺(tái)的大承載 | 自動(dòng)調(diào)心調(diào)平:1250kg/mm,手動(dòng)調(diào)心調(diào)平:120kg/mm | ||
測(cè)量?jī)x尺寸 | 立柱300mm | 立柱500mm | 立柱900mm |
儀器寬度 | 870mm | ||
儀器厚度 | 705mm | ||
儀器高度 | 1460mm | 1660mm | 2260mm |
工作臺(tái)的高度 | 890 | ||
儀器的操作空間尺寸 | 900mmX850mmX750mm | ||
推薦儀器安裝的所需面積 | 1000mmx800mm+工作站 | ||
儀器的公稱(chēng)重量 | 276kg | 286kg | 299kg |
立柱 | 300mm立柱 | 500mm立柱 | 900mm立柱 | |
(1)立柱行程: | 300mm | 500mm | 900mm | |
(2)全程直線(xiàn)度誤差: | 0.3μm/300mm | 0.3μm/500mm | 1.0um/900mm | |
(3)任意100mm直線(xiàn)度誤差 | 0.15um/100mm | 0.15μm/100mm | 0.3μm/100mm | |
(4)立柱對(duì)主軸的平行度: | 0.5μm/300mm | 1μm/500mm | 2μm/900mm | |
(5)位置控制: | ±5μm | ±5um | ±10μm | |
(6)移動(dòng)速度: | 0.25-20mm/秒(移動(dòng)和測(cè)量) , 0.5-5mm/秒(接觸) | |||
(7)長(zhǎng)度測(cè)量: | 0.03μm/mm + 1.5μm | |||
(8)位定位分辨率: | 0.25μm | |||
(9)采樣數(shù)據(jù)點(diǎn): | *多20000可選) |
主軸 | |
主軸結(jié)構(gòu) | 超精密氣浮軸承 |
轉(zhuǎn)速 | 0.6,1,2,6,10rpm,雙向 |
徑向誤差(工作臺(tái)面以上) | ±(0.02μm+0.0003μm/mm) |
軸向誤差 | ± (0.02μm+0.0003μm/mm) |
相位控制 | ±0.28 |
相位分辨率 | 0.02° |
小轉(zhuǎn)到角度 | 0.1° |
采樣點(diǎn)數(shù)(可選擇) | 大值:18000 |
水平橫臂 | 徑向直線(xiàn)度單元(RSU) | 機(jī)動(dòng)徑向臂(MRA) |
(1)橫臂材料: | 陶瓷 | 鋁 |
(2)行程 | 200mm | 200mm |
(3)全程直線(xiàn)度誤差: | 0.25μm/200mm | 不適用 |
(4)任意行程的直線(xiàn)度誤差 | 0.125μm+0.000625μm/mm | 不適用 |
(5)對(duì)主軸的垂直度: | 1μm/200mm | 不適用. |
(6)移動(dòng)速度: | 0.25-15mm/秒(移動(dòng)) | 0.25-15mm/秒(移動(dòng)) |
0.25-15mm/秒(測(cè)量) | 不適用 | |
0.5-5mm/秒(接觸) | 0.5-5mm/秒(接觸) | |
(7)過(guò)中心的行程 | 25mm | 25mm |
(8)位置控制: | ±5μm | +5μm |
(9)徑向測(cè)量: | 0.05um/mm + 1.5um | 0.05μm/mm + 1.5μm |
(10)位定位分辨率: | 0.25μm | 0.25μm |
(11) *小移動(dòng)量: | 0.05mm | 0.05mm |
(12)采樣數(shù)據(jù)點(diǎn): | *多20000(可選) | 不適用 |
調(diào)心和調(diào)平軸 | 全自動(dòng)式 | 手動(dòng)式 |
結(jié)構(gòu) | 已經(jīng)獲得**的三點(diǎn)彈性支撐技術(shù) | 已經(jīng)獲得**的三點(diǎn)彈性支撐技術(shù) |
調(diào)平和調(diào)心臺(tái)控制 | 主軸連續(xù)轉(zhuǎn)動(dòng) | 手動(dòng) |
調(diào)心和調(diào)平自動(dòng)模式 | Yes | N/A |
調(diào)心范圍 | ±5mm | ±1mm |
調(diào)平范圍 | ±0.5° | ±0.25° |
工作臺(tái)以上的中性面高度 | N/A | 20mm |
自動(dòng)調(diào)心的可實(shí)現(xiàn)精度 | <0.8 | N/A |
自動(dòng)調(diào)平的可實(shí)現(xiàn)精度 | <0.8arc secs | N/A |
工作臺(tái)直徑 | 300mm | 190mm |
測(cè)頭定位和測(cè)頭(手動(dòng)方式) | 氣源 | ||
姿勢(shì) | 水平或豎直 | 氣源壓力 | 5.5-10.3bar |
豎直定位 | 延伸/收縮 | 穩(wěn)壓器 | 3.5bar |
水平定位 | 上升/下降/延伸/收縮 | 氣體顆粒多尺寸 | 5micron |
測(cè)頭類(lèi)型 | Talymin 5 | 露點(diǎn) | -20℃ |
額定量程 | ±1mm | 操作時(shí)的氣流量 | 150liters/minutes |
額定分辨率 | 0.03μm | 壓力 | 5.3ft3/minute |
測(cè)頭接觸力 | 0-15g可調(diào) | 大油量 | 25mg/m3 |
支撐角度 | 可調(diào) | 固體顆粒 | 5mg/m3 |